Wafer SOI

Deskripsi Singkat:

Wafer SOI adalah struktur seperti sandwich dengan tiga lapisan;Termasuk lapisan atas (lapisan perangkat), lapisan tengah oksigen yang terkubur (untuk lapisan isolasi SiO2) dan substrat bawah (silikon curah).Wafer SOI diproduksi menggunakan metode SIMOX dan teknologi pengikatan wafer, yang memungkinkan lapisan perangkat lebih tipis dan akurat, ketebalan seragam, dan kepadatan cacat rendah.


Rincian produk

Label Produk

Wafer SOI(1)

Bidang aplikasi

1. Sirkuit terpadu berkecepatan tinggi

2. Perangkat gelombang mikro

3. Sirkuit terpadu suhu tinggi

4. Perangkat listrik

5. Sirkuit terpadu berdaya rendah

6. MEMS

7. Sirkuit terpadu tegangan rendah

Barang

Argumen

Keseluruhan

Diameter Wafer
晶圆尺寸(mm)

50/75/100/125/150/200mm±25um

Busur/Warp
翘曲度(

<10um

Partikel
颗粒度(

0,3um<30ea

Flat / Takik
定位边/定位槽

Datar atau Takik

Pengecualian Tepi
ukuran diameter (mm)

/

Lapisan Perangkat
器件层

Tipe/Dopan Lapisan Perangkat
器件层掺杂类型

Tipe-N/Tipe-P
B/ P/ Sb / Sebagai

Orientasi lapisan perangkat
器件层晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Ketebalan Lapisan Perangkat
器件层厚度(um)

0,1~300um

Resistivitas lapisan perangkat
器件层电阻率(ohm•cm)

0,001~100.000 ohm-cm

Partikel lapisan perangkat
器件层颗粒度(

<30ea@0.3

TTV Lapisan Perangkat
器件层TTV(

<10um

Lapisan Perangkat Selesai
器件层表面处理

Dipoles

KOTAK

Ketebalan Oksida Termal Terkubur
埋氧层厚度(um)

50nm(500Å)~15um

Menangani Lapisan
itu

Menangani Jenis Wafer/Dopan
衬底层类型

Tipe-N/Tipe-P
B/ P/ Sb / Sebagai

Menangani Orientasi Wafer
衬底晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Menangani Resistivitas Wafer
衬底电阻率(ohm•cm)

0,001~100.000 ohm-cm

Tangani Ketebalan Wafer
衬底厚度(um)

>100um

Tangani Selesai Wafer
衬底表面处理

Dipoles

Wafer SOI dengan spesifikasi target dapat disesuaikan dengan kebutuhan pelanggan.

Tempat Kerja Semicera Tempat kerja Semicera 2

Mesin peralatanPemrosesan CNN, pembersihan kimia, pelapisan CVD

Layanan kami


  • Sebelumnya:
  • Berikutnya: