Lapisan oksida termal wafer silikon adalah lapisan oksida atau lapisan silika yang terbentuk pada permukaan telanjang wafer silikon dalam kondisi suhu tinggi dengan zat pengoksidasi.Lapisan oksida termal wafer silikon biasanya ditanam dalam tungku tabung horizontal, dan kisaran suhu pertumbuhan umumnya 900 ° C ~ 1200 ° C, dan ada dua mode pertumbuhan yaitu "oksidasi basah" dan "oksidasi kering".Lapisan oksida termal adalah lapisan oksida "tumbuh" yang memiliki homogenitas lebih tinggi dan kekuatan dielektrik lebih tinggi dibandingkan lapisan oksida yang diendapkan CVD.Lapisan oksida termal merupakan lapisan dielektrik yang sangat baik sebagai isolator.Di banyak perangkat berbasis silikon, lapisan oksida termal memainkan peran penting sebagai lapisan pemblokiran doping dan dielektrik permukaan.
Tip: Jenis oksidasi
1. Oksidasi kering
Silikon bereaksi dengan oksigen, dan lapisan oksida bergerak menuju lapisan basal.Oksidasi kering perlu dilakukan pada suhu 850 hingga 1200 ° C, dan laju pertumbuhannya rendah, yang dapat digunakan untuk pertumbuhan gerbang isolasi MOS.Jika diperlukan lapisan silikon oksida ultra-tipis berkualitas tinggi, oksidasi kering lebih disukai daripada oksidasi basah.
Kapasitas oksidasi kering: 15nm~300nm(150A ~ 3000A)
2. Oksidasi basah
Metode ini menggunakan campuran hidrogen dan oksigen dengan kemurnian tinggi untuk dibakar pada suhu ~1000 °C, sehingga menghasilkan uap air yang membentuk lapisan oksida.Meskipun oksidasi basah tidak dapat menghasilkan lapisan oksidasi berkualitas tinggi seperti oksidasi kering, namun cukup untuk digunakan sebagai zona isolasi, dibandingkan dengan oksidasi kering mempunyai keunggulan yang jelas adalah memiliki laju pertumbuhan yang lebih tinggi.
Kapasitas oksidasi basah: 50nm~ 15µm (500A ~15µm)
3. Metode kering - metode basah - metode kering
Dalam metode ini, oksigen kering murni dilepaskan ke dalam tungku oksidasi pada tahap awal, hidrogen ditambahkan di tengah oksidasi, dan hidrogen disimpan pada akhirnya untuk melanjutkan oksidasi dengan oksigen kering murni untuk membentuk struktur oksidasi yang lebih padat daripada proses oksidasi basah yang umum dalam bentuk uap air.
4. Oksidasi TEOS
| Teknik Oksidasi | Oksidasi basah atau Oksidasi kering |
| Diameter | 2″ / 3″ / 4″ / 6″ / 8″ / 12″ |
| Ketebalan Oksida | 100 Å ~ 15µm |
| Toleransi | +/- 5% |
| Permukaan | Oksidasi Satu Sisi (SSO) / Oksidasi Sisi Ganda (DSO) |
| Perapian | Tungku tabung horizontal |
| Gas | Gas Hidrogen dan Oksigen |
| Suhu | 900℃ ~ 1200℃ |
| Indeks bias | 1.456 |
