Cincin SiC RTP CVD

Deskripsi Singkat:

Cincin SiC RTP CVD sebagian besar terdiri dari silikon karbida (SiC), yang komposisi kimianya dan struktur kristalnya memberikan kinerja yang sangat baik. Silikon karbida merupakan bahan keramik dengan titik leleh tinggi, kekerasan tinggi dan ketahanan korosi yang sangat baik. Ini menunjukkan konduktivitas termal dan stabilitas kimia yang baik pada suhu tinggi, dan memiliki kekuatan mekanik dan ketahanan aus yang sangat baik.

Kirim email ke kami

Detail Produk

Label Produk

Mengapa Cincin Etsa Silikon Karbida?

RTPCVD SiC berderingbanyak digunakan dalam bidang industri dan ilmiah di lingkungan bersuhu tinggi dan korosif. Ini memainkan peran penting dalam manufaktur semikonduktor, optoelektronik, mesin presisi dan industri kimia. Aplikasi khusus meliputi:

1. Manufaktur semikonduktor:RTP CVD SiC berderingdapat digunakan untuk pemanasan dan pendinginan peralatan semikonduktor, memberikan kontrol suhu yang stabil dan memastikan keakuratan dan konsistensi proses.

2. Optoelektronik: Karena konduktivitas termal yang sangat baik dan ketahanan suhu tinggi, RTPCVD SiC berderingdapat digunakan sebagai bahan pendukung dan pembuangan panas untuk laser, peralatan komunikasi serat optik, dan komponen optik.

3. Mesin presisi: Cincin SiC RTP CVD dapat digunakan untuk instrumen dan peralatan presisi di lingkungan bersuhu tinggi dan korosif, seperti tungku suhu tinggi, perangkat vakum, dan reaktor kimia.

4. Industri kimia: Karena ketahanan terhadap korosi dan stabilitas kimianya, cincin SiC RTP CVD dapat digunakan dalam wadah, pipa, dan reaktor dalam reaksi kimia dan proses katalitik.

Sistem Epi

Sistem RTP

Sistem CVD

Kinerja produk:

1. Penuhi proses di bawah 28nm

2. Ketahanan korosi yang super

3. Performa super bersih

4. Kekerasan super

5. Kepadatan tinggi

6. Tahan suhu tinggi

7. Ketahanan aus

Aplikasi produk:

Bahan silikon karbida memiliki karakteristik kekerasan tinggi, ketahanan aus, ketahanan korosi dan stabilitas suhu tinggi. Produk dengan kinerja komprehensif yang sangat baik banyak digunakan dalam proses etsa kering dan TF/Difusi.