Semicera menghadirkan custom berkualitas tinggidayung kantilever silikon karbidadibuat untuk meningkatkan proses manufaktur semikonduktor. Yang inovatifdayung SiCdesainnya memastikan daya tahan luar biasa dan ketahanan termal yang tinggi, menjadikannya komponen penting untuk penanganan wafer di lingkungan bersuhu tinggi yang menantang.
ItuDayung silikon karbidadibangun untuk menahan siklus termal ekstrem dengan tetap menjaga integritas struktural, memastikan transportasi wafer yang andal selama fase kritis produksi semikonduktor. Dengan kekuatan mekanik yang unggul, iniperahu wafermeminimalkan risiko kerusakan wafer, sehingga menghasilkan hasil yang lebih tinggi dan kualitas produksi yang konsisten.
Salah satu inovasi utama dalam dayung SiC Semicera terletak pada pilihan desain khusus. Disesuaikan untuk memenuhi kebutuhan produksi tertentu, dayung menawarkan fleksibilitas dalam integrasi dengan berbagai pengaturan peralatan, menjadikannya solusi ideal untuk proses fabrikasi modern. Konstruksi yang ringan namun kokoh memungkinkan penanganan yang mudah dan mengurangi waktu henti operasional, sehingga berkontribusi terhadap peningkatan efisiensi dalam produksi semikonduktor.
Selain sifat termal dan mekaniknya,Dayung silikon karbidamenawarkan ketahanan kimia yang sangat baik, memungkinkannya bekerja dengan andal bahkan di lingkungan kimia yang keras. Hal ini membuatnya sangat cocok untuk digunakan dalam proses yang melibatkan etsa, pengendapan, dan perlakuan suhu tinggi, di mana menjaga integritas kapal wafer sangat penting untuk memastikan keluaran berkualitas tinggi.
Sifat fisik Silikon Karbida Rekristalisasi | |
Milik | Nilai Khas |
Suhu kerja (°C) | 1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangi lingkungan) |
konten SiC | > 99,96% |
Konten Si gratis | < 0,1% |
Kepadatan massal | 2,60-2,70 gram/cm3 |
Porositas yang tampak | < 16% |
Kekuatan kompresi | > 600MPa |
Kekuatan lentur dingin | 80-90 MPa (20°C) |
Kekuatan lentur panas | 90-100 MPa (1400°C) |
Ekspansi termal @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Konduktivitas termal @1200°C | 23 W/m·K |
Modulus elastis | 240 IPK |
Ketahanan terhadap guncangan termal | Sangat bagus |