Pemrosesan MEMS - Ikatan: Aplikasi dan Kinerja di Industri Semikonduktor, Layanan Khusus Semicera
Dalam industri mikroelektronika dan semikonduktor, teknologi MEMS (sistem mikro-elektromekanis) telah menjadi salah satu teknologi inti yang mendorong inovasi dan peralatan berkinerja tinggi. Dengan kemajuan ilmu pengetahuan dan teknologi, teknologi MEMS telah banyak digunakan dalam sensor, aktuator, perangkat optik, peralatan medis, elektronik otomotif dan bidang lainnya, dan secara bertahap menjadi bagian tak terpisahkan dari teknologi modern. Di bidang ini, proses pengikatan (Bonding), sebagai langkah kunci dalam pemrosesan MEMS, memainkan peran penting dalam kinerja dan keandalan perangkat.
Ikatan adalah teknologi yang menggabungkan dua bahan atau lebih secara kuat dengan cara fisik atau kimia. Biasanya, lapisan material yang berbeda perlu dihubungkan melalui ikatan pada perangkat MEMS untuk mencapai integritas struktural dan realisasi fungsional. Dalam proses pembuatan perangkat MEMS, pengikatan tidak hanya merupakan proses penyambungan, tetapi juga secara langsung mempengaruhi stabilitas termal, kekuatan mekanik, kinerja kelistrikan dan aspek lain dari perangkat.
Dalam pemrosesan MEMS presisi tinggi, teknologi pengikatan perlu memastikan ikatan erat antar material sekaligus menghindari cacat apa pun yang memengaruhi kinerja perangkat. Oleh karena itu, kontrol yang tepat terhadap proses pengikatan dan bahan pengikat berkualitas tinggi merupakan faktor kunci untuk memastikan produk akhir memenuhi standar industri.
Aplikasi ikatan MEMS di industri semikonduktor
Dalam industri semikonduktor, teknologi MEMS banyak digunakan dalam produksi perangkat mikro seperti sensor, akselerometer, sensor tekanan, dan giroskop. Dengan meningkatnya permintaan akan produk miniatur, terintegrasi, dan cerdas, persyaratan akurasi dan kinerja perangkat MEMS juga meningkat. Dalam aplikasi ini, teknologi pengikatan digunakan untuk menghubungkan berbagai bahan seperti wafer silikon, kaca, logam, dan polimer untuk mencapai fungsi yang efisien dan stabil.
1. Sensor tekanan dan akselerometer
Di bidang otomotif, ruang angkasa, elektronik konsumen, dll., sensor tekanan dan akselerometer MEMS banyak digunakan dalam sistem pengukuran dan kontrol. Proses pengikatan digunakan untuk menghubungkan chip silikon dan elemen sensor untuk memastikan sensitivitas dan akurasi yang tinggi. Sensor-sensor ini harus mampu menahan kondisi lingkungan yang ekstrim, dan proses pengikatan berkualitas tinggi dapat secara efektif mencegah material terlepas atau tidak berfungsi karena perubahan suhu.
2. Perangkat mikro-optik dan sakelar optik MEMS
Di bidang komunikasi optik dan perangkat laser, perangkat optik MEMS dan sakelar optik memainkan peran penting. Teknologi pengikatan digunakan untuk mencapai koneksi yang presisi antara perangkat MEMS berbasis silikon dan material seperti serat optik dan cermin untuk memastikan efisiensi dan stabilitas transmisi sinyal optik. Khususnya dalam aplikasi dengan frekuensi tinggi, bandwidth lebar, dan transmisi jarak jauh, teknologi pengikatan berkinerja tinggi sangatlah penting.
3. Giroskop MEMS dan sensor inersia
Giroskop MEMS dan sensor inersia banyak digunakan untuk navigasi dan penentuan posisi yang tepat di industri kelas atas seperti mengemudi otonom, robotika, dan ruang angkasa. Proses pengikatan presisi tinggi dapat memastikan keandalan perangkat dan menghindari penurunan kinerja atau kegagalan selama pengoperasian jangka panjang atau pengoperasian frekuensi tinggi.
Persyaratan kinerja utama teknologi ikatan dalam pemrosesan MEMS
Dalam pemrosesan MEMS, kualitas proses pengikatan secara langsung menentukan kinerja, masa pakai, dan stabilitas perangkat. Untuk memastikan bahwa perangkat MEMS dapat bekerja dengan andal dalam jangka waktu yang lama dalam berbagai skenario aplikasi, teknologi pengikatan harus memiliki kinerja utama berikut:
1. Stabilitas termal yang tinggi
Banyak lingkungan aplikasi dalam industri semikonduktor memiliki kondisi suhu tinggi, terutama di bidang mobil, ruang angkasa, dll. Stabilitas termal bahan pengikat sangat penting dan dapat menahan perubahan suhu tanpa degradasi atau kegagalan.
2. Ketahanan aus yang tinggi
Perangkat MEMS biasanya melibatkan struktur mikro-mekanis, dan gesekan serta pergerakan jangka panjang dapat menyebabkan keausan pada bagian sambungan. Bahan pengikat harus memiliki ketahanan aus yang sangat baik untuk menjamin stabilitas dan efisiensi perangkat dalam penggunaan jangka panjang.
3. Kemurnian tinggi
Industri semikonduktor memiliki persyaratan yang sangat ketat terhadap kemurnian material. Kontaminan sekecil apa pun dapat menyebabkan kegagalan perangkat atau penurunan kinerja. Oleh karena itu, bahan yang digunakan dalam proses pengikatan harus memiliki kemurnian yang sangat tinggi untuk memastikan bahwa perangkat tidak terpengaruh oleh kontaminasi eksternal selama pengoperasian.
4. Akurasi ikatan yang tepat
Perangkat MEMS sering kali memerlukan akurasi pemrosesan tingkat mikron atau bahkan nanometer. Proses pengikatan harus memastikan penyambungan yang tepat pada setiap lapisan material untuk memastikan fungsi dan kinerja perangkat tidak terpengaruh.
Ikatan anodik
Ikatan anodik:
● Berlaku untuk ikatan antara wafer silikon dan kaca, logam dan kaca, semikonduktor dan paduan, serta semikonduktor dan kaca
Ikatan eutektoid:
● Berlaku untuk material seperti PbSn, AuSn, CuSn, dan AuSi
Ikatan lem:
● Gunakan lem pengikat khusus, cocok untuk lem pengikat khusus seperti AZ4620 dan SU8
● Berlaku untuk ukuran 4 inci dan 6 inci
Layanan Ikatan Kustom Semicera
Sebagai penyedia solusi pemrosesan MEMS yang terkemuka di industri, Semicera berkomitmen untuk menyediakan layanan pengikatan khusus dengan presisi tinggi dan stabilitas tinggi kepada pelanggan. Teknologi pengikatan kami dapat digunakan secara luas dalam penyambungan berbagai material, termasuk silikon, kaca, logam, keramik, dll., memberikan solusi inovatif untuk aplikasi kelas atas di bidang semikonduktor dan MEMS.
Semicera memiliki peralatan produksi dan tim teknis yang canggih, dan dapat memberikan solusi pengikatan yang disesuaikan dengan kebutuhan spesifik pelanggan. Baik itu koneksi yang andal di bawah lingkungan bersuhu tinggi dan bertekanan tinggi, atau pengikatan perangkat mikro yang presisi, Semicera dapat memenuhi berbagai persyaratan proses yang kompleks untuk memastikan bahwa setiap produk dapat memenuhi standar kualitas tertinggi.
Layanan pengikatan khusus kami tidak terbatas pada proses pengikatan konvensional, namun juga mencakup pengikatan logam, pengikatan kompresi termal, pengikatan perekat, dan proses lainnya, yang dapat memberikan dukungan teknis profesional untuk berbagai bahan, struktur, dan persyaratan aplikasi. Selain itu, Semicera juga dapat memberikan layanan lengkap kepada pelanggan mulai dari pengembangan prototipe hingga produksi massal untuk memastikan bahwa setiap kebutuhan teknis pelanggan dapat direalisasikan secara akurat.
