Lembaran grafit berlapis Tantalum karbidaMerupakan bahan grafit dengan lapisan tipistantalum karbidapada permukaan substrat. Lapisan tipis tantalum karbida biasanya dibentuk pada permukaan substrat grafit dengan teknik seperti deposisi uap fisik (PVD) atau deposisi uap kimia (CVD). Lapisan ini memiliki sifat yang sangat baik seperti kekerasan tinggi, ketahanan aus yang sangat baik, ketahanan korosi dan stabilitas suhu tinggi.
Semicera menyediakan pelapis tantalum karbida (TaC) khusus untuk berbagai komponen dan pembawa.Proses pelapisan terdepan Semicera memungkinkan pelapisan tantalum karbida (TaC) mencapai kemurnian tinggi, stabilitas suhu tinggi, dan toleransi kimia yang tinggi, meningkatkan kualitas produk kristal SIC/GAN dan lapisan EPI (Suseptor TaC berlapis grafit), dan memperpanjang umur komponen utama reaktor. Penggunaan lapisan TaC tantalum karbida adalah untuk mengatasi masalah tepi dan meningkatkan kualitas pertumbuhan kristal, dan Semicera telah memecahkan terobosan teknologi pelapisan tantalum karbida (CVD), yang mencapai tingkat mahir internasional.
Setelah bertahun-tahun berkembang, Semicera telah menaklukkan teknologiCVD TaCdengan upaya bersama dari departemen R&D. Cacat mudah terjadi pada proses pertumbuhan wafer SiC, tetapi setelah digunakanTaC, perbedaannya signifikan. Di bawah ini adalah perbandingan wafer dengan dan tanpa TaC, serta bagian Simicera untuk pertumbuhan kristal tunggal.
Keuntungan utama lembaran grafit berlapis tantalum karbida meliputi:
1. Ketahanan suhu tinggi: Tantalum karbida memiliki titik leleh tinggi dan stabilitas suhu tinggi yang sangat baik, membuat lembaran grafit berlapis cocok untuk digunakan di lingkungan bersuhu tinggi.
2. Ketahanan korosi: Lapisan karbida Tantalum dapat menahan erosi banyak zat kimia korosif dan memperpanjang masa pakai material.
3. Kekerasan tinggi: Kekerasan tinggi lapisan tipis tantalum karbida memberikan ketahanan aus yang baik dan cocok untuk aplikasi yang membutuhkan ketahanan aus yang tinggi.
4. Stabilitas kimia: Lapisan karbida Tantalum memiliki stabilitas yang sangat baik terhadap korosi kimia dan cocok untuk digunakan pada beberapa media korosif.
dengan dan tanpa TaC
Setelah menggunakan TaC (kanan)
Apalagi SemiceraProduk berlapis TaCmenunjukkan masa pakai yang lebih lama dan ketahanan suhu tinggi yang lebih besar dibandingkan denganpelapis SiC.Pengukuran laboratorium telah menunjukkan bahwa kamipelapis TaCdapat secara konsisten bekerja pada suhu hingga 2300 derajat Celcius untuk waktu yang lama. Di bawah ini adalah beberapa contoh sampel kami:
