Pelat Berlapis TaC adalah cakram khusus yang dirancang untuk digunakan dalam proses epitaksi SiC, dibuat dengan presisi dari bahan grafit berkualitas tinggi. Permukaannya dilapisi dengan cermat dengan tantalum karbida (TaC), senyawa yang terkenal dengan kemurnian dan kekuatannya yang luar biasa. Lapisan TaC meningkatkan daya tahan dan ketahanan pelat terhadap suhu tinggi, sehingga ideal untuk kondisi proses epitaksi SiC yang menuntut.
Pelat Berlapis TaC yang inovatif ini adalah cakram khusus yang dirancang untuk digunakan dalam proses epitaksi SiC, dibuat dengan presisi dari bahan grafit berkualitas tinggi. Permukaan Pelat Dilapisi TaC dilapisi dengan cermat dengan tantalum karbida (TaC), senyawa yang dikenal karena kemurnian dan kekuatannya yang luar biasa. berfungsi sebagai platform yang andal untuk membawa wafer selama berbagai tahap pertumbuhan epitaksi SiC. Basis grafit dengan kemurnian tinggi memberikan permukaan yang stabil dan lembam, sedangkan lapisan TaC menambahkan lapisan perlindungan ekstra terhadap reaksi kimia dan keausan.
SemikeraPelat Berlapis TaC disesuaikan dengan kebutuhan spesifik pelanggan, memastikan kinerja optimal dan kompatibilitas dengan sistem epitaksi SiC mereka. Baik itu ukuran, bentuk, atau spesifikasi lainnya, pelat ini dirancang untuk memenuhi kebutuhan unik setiap aplikasi.
dengan dan tanpa TaC
Setelah menggunakan TaC (kanan)
Apalagi SemiceraProduk berlapis TaCmenunjukkan masa pakai yang lebih lama dan ketahanan suhu tinggi yang lebih besar dibandingkan denganpelapis SiC.Pengukuran laboratorium telah menunjukkan bahwa kamipelapis TaCdapat secara konsisten bekerja pada suhu hingga 2300 derajat Celcius untuk waktu yang lama. Di bawah ini adalah beberapa contoh sampel kami:
