pembawa wafer epitaksi berlapis TaCbiasanya digunakan dalam persiapan perangkat optoelektronik berkinerja tinggi, perangkat listrik, sensor dan bidang lainnya. Inipembawa wafer epitaksialmengacu pada pengendapanTaCfilm tipis pada substrat selama proses pertumbuhan kristal untuk membentuk wafer dengan struktur dan kinerja tertentu untuk persiapan perangkat selanjutnya.
Teknologi deposisi uap kimia (CVD) biasanya digunakan untuk persiapanpembawa wafer epitaksi berlapis TaC. Dengan mereaksikan prekursor logam organik dan gas sumber karbon pada suhu tinggi, film TaC dapat diendapkan pada permukaan substrat kristal. Film ini dapat memiliki sifat listrik, optik dan mekanik yang sangat baik dan cocok untuk persiapan berbagai perangkat berkinerja tinggi.
Semicera menyediakan pelapis tantalum karbida (TaC) khusus untuk berbagai komponen dan pembawa.Proses pelapisan terdepan Semicera memungkinkan pelapisan tantalum karbida (TaC) mencapai kemurnian tinggi, stabilitas suhu tinggi, dan toleransi kimia yang tinggi, meningkatkan kualitas produk kristal SIC/GAN dan lapisan EPI (Suseptor TaC berlapis grafit), dan memperpanjang umur komponen utama reaktor. Penggunaan lapisan TaC tantalum karbida adalah untuk mengatasi masalah tepi dan meningkatkan kualitas pertumbuhan kristal, dan Semicera telah memecahkan terobosan teknologi pelapisan tantalum karbida (CVD), yang mencapai tingkat mahir internasional.
Setelah bertahun-tahun berkembang, Semicera telah menaklukkan teknologiCVD TaCdengan upaya bersama dari departemen R&D. Cacat mudah terjadi pada proses pertumbuhan wafer SiC, tetapi setelah digunakanTaC, perbedaannya signifikan. Di bawah ini adalah perbandingan wafer dengan dan tanpa TaC, serta bagian Simicera untuk pertumbuhan kristal tunggal.
dengan dan tanpa TaC
Setelah menggunakan TaC (kanan)
Apalagi milik SemiceraProduk berlapis TaCmenunjukkan masa pakai yang lebih lama dan ketahanan suhu tinggi yang lebih besar dibandingkan denganpelapis SiC.Pengukuran laboratorium telah menunjukkan bahwa kamipelapis TaCdapat secara konsisten bekerja pada suhu hingga 2300 derajat Celcius untuk waktu yang lama. Di bawah ini adalah beberapa contoh sampel kami:
