Ikhtisar Produk
ItuDayung dan Pembawa Wafer Silikon Karbida (SiC) yang Diresapi Silikondirancang untuk memenuhi persyaratan aplikasi pemrosesan termal semikonduktor. Dibuat dari SiC dengan kemurnian tinggi dan ditingkatkan melalui impregnasi silikon, produk ini menawarkan kombinasi unik antara kinerja suhu tinggi, konduktivitas termal yang sangat baik, ketahanan terhadap korosi, dan kekuatan mekanik yang luar biasa.
Dengan mengintegrasikan ilmu material tingkat lanjut dengan manufaktur presisi, solusi ini memastikan kinerja, keandalan, dan daya tahan yang unggul bagi produsen semikonduktor.
Fitur Utama
1.Ketahanan Suhu Tinggi yang Luar Biasa
Dengan titik leleh melebihi 2700°C, material SiC pada dasarnya stabil di bawah panas ekstrem. Impregnasi silikon semakin meningkatkan stabilitas termalnya, memungkinkannya menahan paparan suhu tinggi dalam waktu lama tanpa melemahnya struktur atau penurunan kinerja.
2.Konduktivitas Termal Unggul
Konduktivitas termal yang luar biasa dari SiC yang diresapi silikon memastikan distribusi panas yang seragam, mengurangi tekanan termal selama tahap pemrosesan kritis. Properti ini memperpanjang umur peralatan dan meminimalkan waktu henti produksi, sehingga ideal untuk pemrosesan termal suhu tinggi.
3.Ketahanan Oksidasi dan Korosi
Lapisan silikon oksida yang kuat terbentuk secara alami di permukaan, memberikan ketahanan luar biasa terhadap oksidasi dan korosi. Hal ini memastikan keandalan jangka panjang dalam lingkungan pengoperasian yang keras, melindungi material dan komponen di sekitarnya.
4.Kekuatan Mekanik Tinggi dan Ketahanan Aus
SiC yang diresapi silikon memiliki kekuatan tekan dan ketahanan aus yang sangat baik, menjaga integritas strukturalnya di bawah kondisi beban tinggi dan suhu tinggi. Hal ini mengurangi risiko kerusakan terkait keausan, memastikan kinerja yang konsisten selama siklus penggunaan yang lama.
Spesifikasi
| Nama Produk | SC-RSiC-Si |
| Bahan | Impregnasi Silikon Silicon Carbide Compact (kemurnian tinggi) |
| Aplikasi | Suku Cadang Perlakuan Panas Semikonduktor, Suku Cadang Peralatan Pabrikan Semikonduktor |
| Formulir pengiriman | Tubuh yang dibentuk (Tubuh sinter) |
| Komposisi | Properti Mekanik | Modulus Young (IPK) | Kekuatan Lentur (MPa) | ||
| Komposisi (vol%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| Kepadatan Massal (kg/m³) | 3,02x103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| Suhu tahan panas°C | 1350 | Rasio Poisson | 0,18(RT) | ||
| Properti Termal | Konduktivitas Termal (W/(m·K)) | Kapasitas Panas Spesifik (kJ/(kg·K)) | Koefisien Ekspansi Termal (1/K) | ||
| RT | 220 | 0,7 | RT~700°C | 3,4x10-6 | |
| 700°C | 60 | 1.23 | 700~1200°C | 4,3x10-6 | |
| Konten Pengotor ((ppm) | |||||||||||||
| Elemen | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Tingkat Konten | 3 | <2 | <0,5 | <0,1 | <1 | 5 | 0,3 | <0,1 | <0,1 | <0,1 | <0,3 | <0,3 | 25 |
Aplikasi
▪Pemrosesan Termal Semikonduktor:Ideal untuk proses seperti deposisi uap kimia (CVD), pertumbuhan epitaksial, dan anil, yang memerlukan kontrol suhu yang tepat dan ketahanan material.
▪Pembawa & Dayung Wafer:Dirancang untuk menahan dan mengangkut wafer dengan aman selama perawatan termal suhu tinggi.
▪Lingkungan Pengoperasian Ekstrim: Cocok untuk pengaturan yang memerlukan ketahanan terhadap panas, paparan bahan kimia, dan tekanan mekanis.
Keuntungan SiC yang Diresapi Silikon
Kombinasi silikon karbida dengan kemurnian tinggi dan teknologi impregnasi silikon canggih memberikan manfaat kinerja yang tak tertandingi:
▪Presisi:Meningkatkan akurasi dan kontrol pemrosesan semikonduktor.
▪Stabilitas:Tahan terhadap lingkungan yang keras tanpa mengorbankan fungsionalitas.
▪Umur panjang:Memperpanjang masa pakai peralatan manufaktur semikonduktor.
▪Efisiensi:Meningkatkan produktivitas dengan memastikan hasil yang andal dan konsisten.
Mengapa Memilih Solusi SiC yang Diresapi Silikon Kami?
At Semicera, kami berspesialisasi dalam menyediakan solusi berkinerja tinggi yang disesuaikan dengan kebutuhan produsen semikonduktor. Dayung dan Wafer Silikon Karbida yang Diresapi Silikon kami menjalani pengujian ketat dan jaminan kualitas untuk memenuhi standar industri. Dengan memilih Semicera, Anda mendapatkan akses ke material mutakhir yang dirancang untuk mengoptimalkan proses manufaktur dan meningkatkan kemampuan produksi Anda.
Spesifikasi Teknis
▪Komposisi Bahan:Silikon karbida kemurnian tinggi dengan impregnasi silikon.
▪Kisaran Suhu Operasional:Hingga 2700°C.
▪ Konduktivitas Termal:Sangat tinggi untuk distribusi panas yang seragam.
▪Properti Resistensi:Oksidasi, korosi, dan tahan aus.
▪Aplikasi:Kompatibel dengan berbagai sistem pemrosesan termal semikonduktor.
Hubungi kami
Siap untuk meningkatkan proses manufaktur semikonduktor Anda? KontakSemicerahari ini untuk mempelajari lebih lanjut tentang Paddle Silicon Carbide dan Wafer Carrier yang Diresapi Silikon.
▪E-mail: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪Telepon: +86-0574-8650 3783
▪Lokasi:No.1958 Jiangnan Road, Teknologi Tinggi Ningbo, Zona, Provinsi Zhejiang, 315201, Cina
