Keterangan
Semicorex Wafer Carriers dengan Lapisan SiC memberikan stabilitas dan konduktivitas termal yang luar biasa, memastikan distribusi panas yang seragam selama proses CVD, yang penting untuk karakteristik lapisan dan film tipis berkualitas tinggi.
Fitur Utama:
1. Stabilitas dan Konduktivitas Termal yang Luar BiasaPembawa wafer berlapis SiC kami unggul dalam menjaga suhu stabil dan konsisten, yang penting untuk proses CVD. Hal ini memastikan distribusi panas yang seragam, sehingga menghasilkan film tipis dan kualitas pelapisan yang unggul.
2. Manufaktur PresisiSetiap pembawa wafer diproduksi dengan standar yang ketat, memastikan ketebalan dan kehalusan permukaan yang seragam. Ketepatan ini sangat penting untuk mencapai tingkat deposisi dan sifat film yang konsisten di berbagai wafer, sehingga meningkatkan kualitas produksi secara keseluruhan.
3. Penghalang PengotorLapisan SiC bertindak sebagai penghalang kedap air, mencegah difusi pengotor dari susceptor ke dalam wafer. Hal ini meminimalkan risiko kontaminasi, yang sangat penting untuk memproduksi perangkat semikonduktor dengan kemurnian tinggi.
4. Daya Tahan dan Efisiensi BiayaKonstruksi kokoh dan lapisan SiC meningkatkan daya tahan pembawa wafer, mengurangi frekuensi penggantian suseptor. Hal ini menghasilkan biaya pemeliharaan yang lebih rendah dan waktu henti yang minimal, sehingga meningkatkan efisiensi operasi manufaktur semikonduktor.
5. Opsi KustomisasiSemicorex Wafer Carriers dengan Lapisan SiC dapat disesuaikan untuk memenuhi persyaratan proses tertentu, termasuk variasi ukuran, bentuk, dan ketebalan lapisan. Fleksibilitas ini memungkinkan optimalisasi susceptor agar sesuai dengan tuntutan unik dari berbagai proses fabrikasi semikonduktor. Opsi penyesuaian memungkinkan pengembangan desain susceptor yang disesuaikan untuk aplikasi khusus, seperti manufaktur bervolume tinggi atau penelitian dan pengembangan, sehingga memastikan kinerja optimal untuk kasus penggunaan tertentu.
Aplikasi:
Semicera Wafer Carrier dengan Lapisan SiC cocok untuk:
• Pertumbuhan epitaksi bahan semikonduktor
• Proses Deposisi Uap Kimia (CVD).
• Produksi wafer semikonduktor berkualitas tinggi
• Aplikasi manufaktur semikonduktor tingkat lanjut