SemiceramemperkenalkanKaset Semikonduktor, alat penting untuk penanganan wafer yang aman dan efisien di seluruh proses manufaktur semikonduktor. Direkayasa dengan presisi tinggi, kaset ini memastikan wafer Anda disimpan dan diangkut dengan aman, menjaga integritasnya di setiap tahap.
Perlindungan dan Daya Tahan UnggulItuKaset Semikonduktordari Semicera dibuat untuk menawarkan perlindungan maksimal pada wafer Anda. Dibuat dari bahan yang kuat dan tahan kontaminasi, wafer ini melindungi wafer Anda dari potensi kerusakan dan kontaminasi, menjadikannya pilihan ideal untuk lingkungan ruang bersih. Desain kaset meminimalkan pembentukan partikulat dan memastikan wafer tetap tidak tersentuh dan aman selama penanganan dan transportasi.
Desain yang Disempurnakan untuk Performa Optimalmilik SemiceraKaset Semikonduktormenampilkan desain yang dirancang dengan cermat yang menghasilkan penyelarasan wafer yang tepat, mengurangi risiko ketidaksejajaran dan kerusakan mekanis. Slot kaset ditempatkan dengan sempurna untuk menahan setiap wafer dengan aman, mencegah gerakan apa pun yang dapat mengakibatkan goresan atau ketidaksempurnaan lainnya.
Fleksibilitas dan KompatibilitasItuKaset Semikonduktorserbaguna dan kompatibel dengan berbagai ukuran wafer, sehingga cocok untuk berbagai tahap fabrikasi semikonduktor. Baik Anda bekerja dengan dimensi wafer standar atau khusus, kaset ini menyesuaikan dengan kebutuhan Anda, menawarkan fleksibilitas dalam proses produksi Anda.
Penanganan dan Efisiensi yang EfisienDirancang dengan mempertimbangkan pengguna,Kaset Semikonduktor Semiceraringan dan mudah ditangani, memungkinkan bongkar muat yang cepat dan efisien. Desain ergonomis ini tidak hanya menghemat waktu namun juga mengurangi risiko kesalahan manusia, memastikan kelancaran pengoperasian di fasilitas Anda.
Memenuhi Standar IndustriSemicera memastikan bahwaKaset Semikonduktormemenuhi standar industri tertinggi untuk kualitas dan keandalan. Setiap kaset menjalani pengujian yang ketat untuk menjamin kinerjanya secara konsisten di bawah kondisi produksi semikonduktor yang menuntut. Dedikasi terhadap kualitas ini memastikan wafer Anda selalu terlindungi, mempertahankan standar tinggi yang disyaratkan dalam industri.
| Barang | Produksi | Riset | Contoh |
| Parameter Kristal | |||
| Politipe | 4H | ||
| Kesalahan orientasi permukaan | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parameter Listrik | |||
| Dopan | Nitrogen tipe-n | ||
| Resistivitas | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Parameter Mekanik | |||
| Diameter | 150,0±0,2mm | ||
| Ketebalan | 350±25 m | ||
| Orientasi datar primer | [1-100]±5° | ||
| Panjang datar primer | 47,5±1,5mm | ||
| Flat sekunder | Tidak ada | ||
| TV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 m(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Busur | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Melengkung | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Kekasaran depan (Si-wajah) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktur | |||
| Kepadatan pipa mikro | <1 buah/cm2 | <10 buah/cm2 | <15 buah/cm2 |
| Kotoran logam | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 unit/cm2 | ≤3000 unit/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 unit/cm2 | ≤1000 unit/cm2 | NA |
| Kualitas Depan | |||
| Depan | Si | ||
| Permukaan akhir | CMP wajah-si | ||
| Partikel | ≤60ea/wafer (ukuran≥0,3μm) | NA | |
| Goresan | ≤5ea/mm. Panjang kumulatif ≤Diameter | Panjang kumulatif≤2*Diameter | NA |
| Kulit jeruk/lubang/noda/goresan/retakan/kontaminasi | Tidak ada | NA | |
| Keripik tepi/lekukan/patah/pelat segi enam | Tidak ada | ||
| Daerah politipe | Tidak ada | Area kumulatif≤20% | Area kumulatif≤30% |
| Penandaan laser depan | Tidak ada | ||
| Kualitas Kembali | |||
| Selesai kembali | CMP wajah C | ||
| Goresan | ≤5ea/mm, Panjang kumulatif≤2*Diameter | NA | |
| Cacat bagian belakang (pinggiran/lekukan tepi) | Tidak ada | ||
| Kekasaran punggung | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Penandaan laser belakang | 1 mm (dari tepi atas) | ||
| Tepian | |||
| Tepian | Talang | ||
| Kemasan | |||
| Kemasan | Epi-ready dengan kemasan vakum Kemasan kaset multi-wafer | ||
| *Catatan： "NA" berarti tidak ada permintaan. Item yang tidak disebutkan mungkin mengacu pada SEMI-STD. | |||
