Semicera menyediakan pelapis tantalum karbida (TaC) khusus untuk berbagai komponen dan pembawa.Proses pelapisan terdepan Semicera memungkinkan pelapisan tantalum karbida (TaC) mencapai kemurnian tinggi, stabilitas suhu tinggi, dan toleransi kimia yang tinggi, meningkatkan kualitas produk kristal SIC/GAN dan lapisan EPI (Suseptor TaC berlapis grafit), dan memperpanjang umur komponen utama reaktor. Penggunaan lapisan TaC tantalum karbida adalah untuk mengatasi masalah tepi dan meningkatkan kualitas pertumbuhan kristal, dan Semicera telah memecahkan terobosan teknologi pelapisan tantalum karbida (CVD), yang mencapai tingkat mahir internasional.
Setelah bertahun-tahun berkembang, Semicera telah menaklukkan teknologiCVD TaCdengan upaya bersama dari departemen R&D. Cacat mudah terjadi pada proses pertumbuhan wafer SiC, tetapi setelah digunakanTaC, perbedaannya signifikan. Di bawah ini adalah perbandingan wafer dengan dan tanpa TaC, serta bagian Semicera untuk pertumbuhan kristal tunggal
dengan dan tanpa TaC
Setelah menggunakan TaC (kanan)
Selain itu, masa pakai produk pelapis TaC Semicera lebih lama dan lebih tahan terhadap suhu tinggi dibandingkan pelapis SiC. Setelah sekian lama data pengukuran laboratorium, TaC kami dapat bekerja dalam waktu lama pada suhu maksimal 2300 derajat Celcius. Berikut ini adalah beberapa sampel kami:
(a) Diagram skema alat penumbuh ingot kristal tunggal SiC dengan metode PVT (b) Braket benih berlapis TaC atas (termasuk benih SiC) (c) Cincin pemandu grafit berlapis TAC
