Semiceradengan senang hati menawarkanKaset PFA, pilihan premium untuk penanganan wafer di lingkungan yang mengutamakan ketahanan dan ketahanan bahan kimia. Dibuat dari bahan Perfluoroalkoxy (PFA) dengan kemurnian tinggi, kaset ini dirancang untuk tahan terhadap kondisi paling menuntut dalam fabrikasi semikonduktor, memastikan keamanan dan integritas wafer Anda.
Ketahanan Kimia yang Tak TertandingiItuKaset PFAdirancang untuk memberikan ketahanan unggul terhadap berbagai macam bahan kimia, menjadikannya pilihan sempurna untuk proses yang melibatkan asam agresif, pelarut, dan bahan kimia keras lainnya. Ketahanan terhadap bahan kimia yang kuat ini memastikan kaset tetap utuh dan berfungsi bahkan di lingkungan yang paling korosif, sehingga memperpanjang masa pakainya dan mengurangi kebutuhan akan penggantian yang sering.
Konstruksi Kemurnian Tinggimilik SemiceraKaset PFAdibuat dari bahan PFA ultra murni, yang sangat penting dalam mencegah kontaminasi selama pemrosesan wafer. Konstruksi dengan kemurnian tinggi ini meminimalkan risiko pembentukan partikel dan pencucian bahan kimia, memastikan wafer Anda terlindungi dari kotoran yang dapat menurunkan kualitasnya.
Peningkatan Daya Tahan dan KinerjaDirancang untuk daya tahan, ituKaset PFAmempertahankan integritas strukturalnya di bawah suhu ekstrem dan kondisi pemrosesan yang ketat. Baik terkena suhu tinggi atau ditangani berulang kali, kaset ini tetap mempertahankan bentuk dan kinerjanya, menawarkan keandalan jangka panjang dalam lingkungan produksi yang menuntut.
Rekayasa Presisi untuk Penanganan yang AmanItuKaset Semicera PFAmenampilkan rekayasa presisi yang memastikan penanganan wafer yang aman dan stabil. Setiap slot dirancang dengan cermat untuk menahan wafer dengan aman di tempatnya, mencegah pergerakan atau pergeseran apa pun yang dapat mengakibatkan kerusakan. Rekayasa presisi ini mendukung penempatan wafer yang konsisten dan akurat, sehingga berkontribusi terhadap efisiensi proses secara keseluruhan.
Aplikasi Serbaguna di Seluruh ProsesBerkat sifat materialnya yang unggul,Kaset PFAcukup serbaguna untuk digunakan di berbagai tahap fabrikasi semikonduktor. Ini sangat cocok untuk etsa basah, deposisi uap kimia (CVD), dan proses lain yang melibatkan lingkungan kimia keras. Kemampuan beradaptasinya menjadikannya alat penting dalam menjaga integritas proses dan kualitas wafer.
Komitmen terhadap Kualitas dan InovasiDi Semicera, kami berkomitmen untuk menyediakan produk yang memenuhi standar industri tertinggi. ItuKaset PFAmencontohkan komitmen ini, menawarkan solusi andal yang terintegrasi secara mulus ke dalam proses manufaktur Anda. Setiap kaset menjalani kontrol kualitas yang ketat untuk memastikannya memenuhi kriteria kinerja kami yang ketat, memberikan keunggulan yang Anda harapkan dari Semicera.
| Barang | Produksi | Riset | Contoh |
| Parameter Kristal | |||
| Politipe | 4H | ||
| Kesalahan orientasi permukaan | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parameter Listrik | |||
| Dopan | Nitrogen tipe-n | ||
| Resistivitas | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Parameter Mekanik | |||
| Diameter | 150,0±0,2mm | ||
| Ketebalan | 350±25 m | ||
| Orientasi datar primer | [1-100]±5° | ||
| Panjang datar primer | 47,5±1,5mm | ||
| Flat sekunder | Tidak ada | ||
| TV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 m(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Busur | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Melengkung | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Kekasaran depan (Si-wajah) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktur | |||
| Kepadatan pipa mikro | <1 buah/cm2 | <10 buah/cm2 | <15 buah/cm2 |
| Kotoran logam | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 unit/cm2 | ≤3000 unit/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 unit/cm2 | ≤1000 unit/cm2 | NA |
| Kualitas Depan | |||
| Depan | Si | ||
| Permukaan akhir | CMP wajah-si | ||
| Partikel | ≤60ea/wafer (ukuran≥0,3μm) | NA | |
| Goresan | ≤5ea/mm. Panjang kumulatif ≤Diameter | Panjang kumulatif≤2*Diameter | NA |
| Kulit jeruk/lubang/noda/goresan/retakan/kontaminasi | Tidak ada | NA | |
| Keripik tepi/lekukan/patah/pelat segi enam | Tidak ada | ||
| Daerah politipe | Tidak ada | Area kumulatif≤20% | Area kumulatif≤30% |
| Penandaan laser depan | Tidak ada | ||
| Kualitas Kembali | |||
| Selesai kembali | CMP wajah C | ||
| Goresan | ≤5ea/mm, Panjang kumulatif≤2*Diameter | NA | |
| Cacat bagian belakang (pinggiran/lekukan tepi) | Tidak ada | ||
| Kekasaran punggung | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Penandaan laser belakang | 1 mm (dari tepi atas) | ||
| Tepian | |||
| Tepian | Talang | ||
| Kemasan | |||
| Kemasan | Epi-ready dengan kemasan vakum Kemasan kaset multi-wafer | ||
| *Catatan： "NA" berarti tidak ada permintaan. Item yang tidak disebutkan mungkin mengacu pada SEMI-STD. | |||
