Pengenalan pembawa wafer
KATAGORI PRODUK
▶Sistem Pembawa Wafer untuk Proses PECVD & TALOX
• Perahu Grafit PECVD & TALOX (M4~M12)
• SM-Boat Vertikal (M4, M6)
• Bagian Grafit Implan & pancuran (M4~M6)
• Baki C/C & Pelapis Keramik
• Baki RIE Logam & Pelapis Keramik
• Penyegelan Vakum : O-Ring & SQ-Ring
▶Proses Transfer Tekstur & Etsa Basah
• LSC H-Carrier atau kaset (M4~M12)
• LSC V-Carrier atau kaset (M4~M12)
• Pembawa atau kaset ASC (M4, M6)
• Kotak Pembawa & Penyimpanan W/F (M4~M12)
• Seri Roda Pengangkut (Roller).
▶Pembawa Sel Surya & Pembawa Logam
• TRC Carrier atau kaset (M4~M12)
• Majalah (dengan BELT)
PERAHU GRAFIT (Tipe H)
19P6-216CT (WF M4~M12)
PERAHU GRAFIT (Tipe H)
21P6-240CT WF M4~M12)
PERAHU GRAFIT (Tipe H)
23P7-308CT(Dengan M4~M12)
PERAHU GRAFIT (Tipe H)
22P/7-294TP (Dengan M4~M12)
PERAHU GRAFIT (Tipe H)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
KOTAK PEMBAWA & PENYIMPANAN WF (~M12)
C/C TRAY atau CARRIER (M4~M10)
C/C TRAY atau CARRIER (M4~M10)
PERAHU VERTIKAL (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
PEMBAWA ASC (~M6)
PEMBAWA TRC(~M12)
PEMBAWA TRC(~M12)
PERAHU GRAFIT (M12)
Sistem Pembawa Wafer untuk Proses PECVD
▶ PERAHU GRAPHIT (Dirancang CT) Proses M10/M12
• KONSEP DESAIN KHUSUS
▶ PERAHU GRAPHIT (Dirancang CT) Proses M4/M6
▶ Suku Cadang Aksesori PERAHU
▶ WAFER PERAHU VERTIKAL-161,7 mm
▶ WAFER PERAHU VERTIKAL-166mm
▶ PERAHU VERTIKAL-161,7 mm, WAFER 166 mm
Pembawa Sel Surya & Pembawa TRC Logam
JENIS : Otomatisasi
UKURAN WAFER : ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
PENGGUNAAN: Membawa (Kaset)
KAPASITAS : 100 lembar
NADA: 4.76MM/5.953mm/6.35mm
DIMENSI: Kira-kira 559×220×220MM
Kira-kira 712×260×260MM
KEUNGGULAN : Suasana
BAHAN : FLAME, SIDE BAR-Aluminium (anodizing)
PELAT SAMPING-POM (Antistatis)
Penutup bilah bawah-EPDM/PU/VITON (ASE)
PEMBAWA LOGAM TRC (GARIS U'SER)
PEMBAWA LOGAM TRC (GARIS U'SER)
PEMBAWA LOGAM TRC (GARIS U'SER)
PELAT MANDI & IMPLAN, PEMBAWA
