ItuMOCVDmetode ini adalah salah satu proses paling stabil yang saat ini digunakan dalam industri untuk menumbuhkan film tipis kristal tunggal berkualitas tinggi, seperti epilayer InGaN fase tunggal, material III-N, dan film semikonduktor dengan struktur sumur multi kuantum, dan sangat penting dalam bidang industri. pembuatan perangkat semikonduktor dan optoelektronik.
ItuSuseptor MOCVD lapisan SiCadalah tempat wafer khusus yang dilapisi silikon karbida (SiC) untukepitaksi pertumbuhan dalam proses pengendapan uap kimia organik logam (MOCVD).
Lapisan SiC memiliki ketahanan kimia dan stabilitas termal yang sangat baik, menjadikannya pilihan ideal untuk suseptor MOCVD yang digunakan dalam proses pertumbuhan epitaksi yang menuntut.
Komponen kunci dari proses MOCVD adalah susceptor, yang merupakan elemen kunci untuk menjamin keseragaman dan kualitas film tipis yang diproduksi.
Apa itu reseptor? Susceptor adalah komponen khusus yang digunakan dalam proses MOCVD untuk mendukung dan memanaskan substrat tempat film tipis diendapkan. Ia memiliki banyak fungsi, termasuk menyerap energi elektromagnetik, mengubahnya menjadi panas, dan mendistribusikan panas secara merata pada substrat. Pemanasan yang seragam ini penting untuk pertumbuhan film tipis yang seragam dengan ketebalan dan komposisi yang tepat.
Jenis reseptor:
1. Rentan grafit: Rentan grafit sering kali dilapisi dengan lapisan pelindung sepertisilikon karbida (SiC), yang dikenal dengan konduktivitas dan stabilitas termal yang tinggi. Itulapisan SiCmemberikan permukaan yang keras dan protektif yang tahan terhadap korosi dan degradasi pada suhu tinggi.
2. Susceptor silikon karbida (SiC): Susceptor ini seluruhnya terbuat dari SiC dan memiliki stabilitas termal dan ketahanan aus yang sangat baik. Suseptor SiC sangat cocok untuk proses suhu tinggi dan lingkungan korosif.
Cara kerja susceptor di MOCVD:
Dalam proses MOCVD, prekursor dimasukkan ke dalam ruang reaksi di mana mereka terurai dan bereaksi membentuk lapisan tipis pada substrat. Susceptor memainkan peran penting dengan memastikan bahwa substrat dipanaskan secara merata, yang sangat penting untuk mencapai sifat film yang konsisten di seluruh permukaan substrat. Bahan dan desain susceptor dipilih secara cermat untuk memenuhi persyaratan spesifik proses pengendapan, seperti kisaran suhu dan kompatibilitas bahan kimia.
Keuntungan menggunakan susceptor berkualitas tinggi:
• Peningkatan kualitas film: Dengan menyediakan distribusi panas yang seragam, susceptor membantu menghasilkan film dengan ketebalan dan komposisi yang konsisten, yang sangat penting untuk kinerja perangkat semikonduktor.
• Peningkatan efisiensi proses: Susceptor berkualitas tinggi meningkatkan efisiensi keseluruhan proses MOCVD dengan mengurangi kemungkinan cacat dan meningkatkan hasil film yang dapat digunakan.
• Umur dan keandalan: Susceptor terbuat dari bahan tahan lama seperti SiC memastikan keandalan jangka panjang dan mengurangi biaya pemeliharaan.
Susceptor merupakan komponen integral dalam proses MOCVD dan secara langsung mempengaruhi kualitas dan efisiensi deposisi film tipis. Untuk informasi lebih lanjut mengenai ukuran yang tersedia, susceptor MOCVD dan harga, jangan ragu untuk menghubungi kami. Teknisi kami akan dengan senang hati memberi saran kepada Anda tentang bahan yang sesuai dan menjawab semua pertanyaan Anda.
Telepon: +86-13373889683
WhatsApp: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Waktu posting: 12 Agustus-2024