Penerapan Keramik Silikon Karbida di Bidang Semikonduktor

Semikonduktor:

Industri semikonduktor mengikuti hukum industri “satu generasi teknologi, satu generasi proses, dan satu generasi peralatan”, dan peningkatan serta iterasi peralatan semikonduktor sangat bergantung pada terobosan teknologi komponen presisi. Diantaranya, komponen keramik presisi adalah bahan komponen presisi semikonduktor yang paling representatif, yang memiliki aplikasi penting dalam serangkaian tautan manufaktur semikonduktor utama seperti deposisi uap kimia, deposisi uap fisik, implantasi ion, dan etsa. Seperti bantalan, rel pemandu, pelapis, chuck elektrostatis, lengan penanganan mekanis, dll. Terutama di dalam rongga peralatan, ia berperan sebagai penopang, pelindung, dan pengalih perhatian.

640

Sejak tahun 2023, Belanda dan Jepang juga berturut-turut mengeluarkan peraturan baru atau keputusan perdagangan luar negeri tentang pengendalian, menambahkan peraturan izin ekspor untuk peralatan semikonduktor termasuk mesin litografi, dan tren anti-globalisasi semikonduktor secara bertahap muncul. Pentingnya pengendalian independen terhadap rantai pasokan menjadi semakin menonjol. Menghadapi permintaan lokalisasi suku cadang peralatan semikonduktor, perusahaan dalam negeri secara aktif mendorong pengembangan industri. Zhongci Electronics telah mewujudkan lokalisasi suku cadang presisi berteknologi tinggi seperti pelat pemanas dan chuck elektrostatis, sehingga memecahkan masalah “hambatan” dalam industri peralatan semikonduktor dalam negeri; Dezhi New Materials, pemasok domestik terkemuka untuk basis grafit berlapis SiC dan cincin etsa SiC, telah berhasil menyelesaikan pembiayaan sebesar 100 juta yuan, dll…..
Substrat keramik silikon nitrida dengan konduktivitas tinggi:

Substrat keramik silikon nitrida terutama digunakan pada unit daya, perangkat semikonduktor, dan inverter kendaraan listrik murni (EV) dan kendaraan listrik hibrida (HEV), serta memiliki potensi pasar dan prospek penerapan yang besar.

640 (1)

Saat ini, bahan substrat keramik silikon nitrida dengan konduktivitas termal tinggi untuk aplikasi komersial memerlukan konduktivitas termal ≥85 W/(m·K), kekuatan lentur ≥650MPa, dan ketangguhan patah 5~7MPa·m1/2. Perusahaan yang benar-benar memiliki kemampuan untuk memproduksi secara massal substrat keramik silikon nitrida dengan konduktivitas termal tinggi sebagian besar adalah Toshiba Group, Hitachi Metals, Japan Electric Chemical, Japan Maruwa, dan Japan Fine Ceramics.

Penelitian dalam negeri tentang bahan substrat keramik silikon nitrida juga telah mengalami beberapa kemajuan. Konduktivitas termal substrat keramik silikon nitrida yang dibuat melalui proses pengecoran pita Sinoma High-Tech Nitride Ceramics Co., Ltd. Cabang Beijing adalah 100 W/(m·K); Beijing Sinoma Artificial Crystal Research Institute Co., Ltd. telah berhasil menyiapkan substrat keramik silikon nitrida dengan kekuatan lentur 700-800MPa, ketangguhan patah ≥8MPa·m1/2, dan konduktivitas termal ≥80W/(m·K) dengan mengoptimalkan metode dan proses sintering.


Waktu posting: 29 Oktober 2024