Perahu Grafit PECVD Isostatik

Deskripsi Singkat:

Perahu grafit PECVD isostatik banyak digunakan di berbagai bidang manufaktur semikonduktor, seperti deposisi film polisilikon, deposisi film oksida, deposisi film nitrida, dll. Kinerjanya yang luar biasa menjadikannya pembawa wafer yang ideal dalam proses PECVD.

Kirim email ke kami

Detail Produk

Label Produk

Perahu grafit PECVD isostatik SEMICERA adalah produk grafit dengan kemurnian tinggi dan kepadatan tinggi yang dirancang untuk dukungan wafer dalam proses PECVD (pengendapan uap kimia yang ditingkatkan plasma). SEMICERA menggunakan teknologi pengepresan isostatik canggih untuk memastikan bahwa perahu grafit memiliki ketahanan suhu tinggi yang sangat baik, ketahanan korosi, stabilitas dimensi, dan konduktivitas termal yang baik, yang merupakan bahan habis pakai yang sangat diperlukan dalam proses pembuatan semikonduktor.

Perahu grafit PECVD isostatik SEMICERA memiliki keunggulan sebagai berikut:

▪ Kemurnian tinggi: Bahan grafit memiliki kemurnian tinggi dan kandungan pengotor rendah untuk menghindari kontaminasi pada permukaan wafer.

▪ Kepadatan tinggi: Kepadatan tinggi, kekuatan mekanik tinggi, tahan terhadap suhu tinggi dan lingkungan vakum tinggi.

▪ Stabilitas dimensi yang baik: Perubahan dimensi kecil pada suhu tinggi untuk memastikan stabilitas proses.

▪ Konduktivitas termal yang sangat baik: Mentransfer panas secara efektif untuk mencegah panas berlebih pada wafer.

▪ Ketahanan korosi yang kuat: Mampu menahan erosi oleh berbagai gas korosif dan plasma.

Parameter kinerja	semicera	SGL R6510	Parameter kinerja
Kepadatan curah (g/cm3)	1.91	1.83	1.85
Kekuatan lentur (MPa)	63	60	49
Kekuatan tekan (MPa)	135	130	103
Kekerasan Pantai (HS)	70	64	60
Koefisien ekspansi termal（10-6/K）	85	105	130
Koefisien ekspansi termal（10-6/K）	5.85	4.2	5.0
Resistivitas (μΩm)	11-13	13	10

Keuntungan memilih kami:
▪ Pemilihan bahan: Bahan grafit dengan kemurnian tinggi digunakan untuk memastikan kualitas produk.
▪ Teknologi pemrosesan: Pengepresan isostatik digunakan untuk memastikan kepadatan dan keseragaman produk.
▪ Kustomisasi ukuran: Perahu grafit dengan berbagai ukuran dan bentuk dapat disesuaikan sesuai kebutuhan pelanggan.
▪ Perawatan permukaan: Berbagai metode perawatan permukaan disediakan, seperti pelapisan silikon karbida, boron nitrida, dll., untuk memenuhi persyaratan proses yang berbeda.