Semicera Kemurnian TinggiDayung Silikon Karbidadirancang dengan cermat untuk memenuhi tuntutan ketat proses manufaktur semikonduktor modern. IniDayung Kantilever SiCunggul dalam lingkungan bersuhu tinggi, menawarkan stabilitas termal dan daya tahan mekanis yang tak tertandingi. Struktur SiC Cantilever dibangun untuk tahan terhadap kondisi ekstrem, memastikan penanganan wafer yang andal di berbagai proses.
Salah satu inovasi utama dariDayung SiCadalah desainnya yang ringan namun kuat, yang memungkinkan integrasi yang mudah ke dalam sistem yang ada. Konduktivitas termalnya yang tinggi membantu menjaga stabilitas wafer selama fase kritis seperti pengetsaan dan pengendapan, meminimalkan risiko kerusakan wafer dan memastikan hasil produksi yang lebih tinggi. Penggunaan silikon karbida densitas tinggi dalam konstruksi dayung meningkatkan ketahanannya terhadap keausan, memberikan umur operasional yang lebih lama dan mengurangi kebutuhan akan penggantian yang sering.
Semicera sangat menekankan pada inovasi, memberikan aDayung Kantilever SiCyang tidak hanya memenuhi tetapi melampaui standar industri. Dayung ini dioptimalkan untuk digunakan dalam berbagai aplikasi semikonduktor, mulai dari deposisi hingga etsa, yang mengutamakan presisi dan keandalan. Dengan mengintegrasikan teknologi mutakhir ini, produsen dapat mengharapkan peningkatan efisiensi, pengurangan biaya pemeliharaan, dan kualitas produk yang konsisten.
Sifat fisik Silikon Karbida Rekristalisasi | |
Milik | Nilai Khas |
Suhu kerja (°C) | 1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangi lingkungan) |
konten SiC | > 99,96% |
Konten Si gratis | < 0,1% |
Kepadatan massal | 2,60-2,70 gram/cm3 |
Porositas yang tampak | < 16% |
Kekuatan kompresi | > 600MPa |
Kekuatan lentur dingin | 80-90 MPa (20°C) |
Kekuatan lentur panas | 90-100 MPa (1400°C) |
Ekspansi termal @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Konduktivitas termal @1200°C | 23 W/m·K |
Modulus elastis | 240 IPK |
Ketahanan terhadap guncangan termal | Sangat bagus |