Pembawa/Suseptor SiC dengan kemurnian tinggi

Gambar Unggulan Pembawa/Susceptor SiC dengan kemurnian tinggi

Deskripsi Singkat:

Cakram bantalan silikon karbida juga dikenal sebagai baki SIC, cakram etsa silikon karbida, cakram etsa ICP.Baki silikon karbida untuk etsa LED (baki SiC) φ600mm adalah aksesori khusus untuk etsa silikon dalam (mesin etsa ICP).

Kirim email ke kami

Rincian produk

Label Produk

Keterangan

Keramik silikon karbida memiliki sifat mekanik yang sangat baik pada suhu kamar, seperti kekuatan tinggi, kekerasan tinggi, modulus elastisitas tinggi, dll., Keramik ini juga memiliki stabilitas suhu tinggi yang sangat baik seperti konduktivitas termal yang tinggi, koefisien muai panas yang rendah, dan kekakuan spesifik dan optik yang baik. kinerja pemrosesan.
Mereka sangat cocok untuk memproduksi komponen keramik presisi untuk peralatan sirkuit terpadu seperti mesin litografi, terutama digunakan untuk memproduksi pembawa/susceptor SiC, perahu wafer SiC, cakram penghisap, pelat pendingin air, reflektor pengukur presisi, kisi-kisi dan bagian struktural keramik lainnya

operator2

operator3

operator4

Keuntungan

Tahan suhu tinggi: penggunaan normal pada 1800 ℃
Konduktivitas termal yang tinggi: setara dengan bahan grafit
Kekerasan tinggi: kekerasan kedua setelah berlian, boron nitrida
Ketahanan korosi: asam kuat dan alkali tidak menimbulkan korosi, ketahanan korosi lebih baik daripada tungsten karbida dan alumina
Ringan: kepadatan rendah, dekat dengan aluminium
Tidak ada deformasi: koefisien ekspansi termal rendah
Ketahanan guncangan termal: dapat menahan perubahan suhu yang tajam, menahan guncangan termal, dan memiliki kinerja yang stabil
Pembawa silikon karbida seperti pembawa etsa sic, susceptor etsa ICP, banyak digunakan dalam semikonduktor CVD, sputtering vakum, dll. Kami dapat menyediakan kepada pelanggan pembawa wafer khusus dari bahan silikon dan silikon karbida untuk memenuhi berbagai aplikasi.

Keuntungan

Properti	Nilai	metode
Kepadatan	3,21 gram/cc	Tenggelam-mengapung dan dimensi
Panas spesifik	0,66 J/g °K	Lampu kilat laser berdenyut
Kekuatan lentur	450 MPa560 MPa	Tikungan 4 titik, tikungan titik RT4, 1300°
Ketangguhan patah	2,94 MPa m1/2	Mikroindentasi
Kekerasan	2800	Vicker's, beban 500g
Modulus Elastis Modulus Young	450 IPK430 IPK	tikungan 4 pt, tikungan RT4 pt, 1300 °C
Ukuran butir	2 – 10 mikron	SEM

Profil Perusahaan

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. adalah pemasok terkemuka keramik semikonduktor canggih dan satu-satunya produsen di Tiongkok yang secara bersamaan dapat menyediakan keramik silikon karbida dengan kemurnian tinggi (terutama SiC yang Dikristalisasi) dan lapisan SiC CVD.Selain itu, perusahaan kami juga berkomitmen pada bidang keramik seperti alumina, aluminium nitrida, zirkonia, dan silikon nitrida, dll.

Produk utama kami meliputi: cakram etsa silikon karbida, derek perahu silikon karbida, perahu wafer silikon karbida (Fotovoltaik & Semikonduktor), tabung tungku silikon karbida, dayung kantilever silikon karbida, chuck silikon karbida, balok silikon karbida, serta lapisan CVD SiC dan TaC lapisan.Produk ini terutama digunakan dalam industri semikonduktor dan fotovoltaik, seperti peralatan untuk pertumbuhan kristal, epitaksi, etsa, pengemasan, pelapisan dan tungku difusi, dll.
tentang (2)