Substrat sic tipe-n 6 inci

Deskripsi Singkat:

Substrat SiC tipe-n 6 inci‌ adalah bahan semikonduktor yang ditandai dengan penggunaan ukuran wafer 6 inci, yang meningkatkan jumlah perangkat yang dapat diproduksi pada satu wafer pada area permukaan yang lebih besar, sehingga mengurangi biaya tingkat perangkat . Pengembangan dan penerapan substrat SiC tipe-n berukuran 6 inci mendapat manfaat dari kemajuan teknologi seperti metode pertumbuhan RAF, yang mengurangi dislokasi dengan memotong kristal sepanjang dislokasi dan arah paralel serta menumbuhkan kembali kristal, sehingga meningkatkan kualitas substrat. Penerapan substrat ini sangat penting untuk meningkatkan efisiensi produksi dan mengurangi biaya perangkat listrik SiC.

 


Detail Produk

Label Produk

Bahan kristal tunggal silikon karbida (SiC) memiliki lebar celah pita yang besar (~Si 3 kali), konduktivitas termal yang tinggi (~Si 3,3 kali atau GaAs 10 kali), laju migrasi saturasi elektron yang tinggi (~Si 2,5 kali), kerusakan listrik yang tinggi bidang (~Si 10 kali atau GaAs 5 kali) dan karakteristik luar biasa lainnya.

Bahan semikonduktor generasi ketiga terutama mencakup SiC, GaN, intan, dll., karena lebar celah pita (Eg) lebih besar dari atau sama dengan 2,3 elektron volt (eV), disebut juga bahan semikonduktor celah pita lebar. Dibandingkan dengan bahan semikonduktor generasi pertama dan kedua, bahan semikonduktor generasi ketiga memiliki keunggulan konduktivitas termal yang tinggi, medan listrik kerusakan yang tinggi, laju migrasi elektron jenuh yang tinggi, dan energi ikatan yang tinggi, yang dapat memenuhi persyaratan baru teknologi elektronik modern untuk tingkat tinggi suhu, daya tinggi, tekanan tinggi, frekuensi tinggi dan ketahanan radiasi dan kondisi keras lainnya. Ini memiliki prospek penerapan yang penting di bidang pertahanan nasional, penerbangan, dirgantara, eksplorasi minyak, penyimpanan optik, dll., dan dapat mengurangi kehilangan energi hingga lebih dari 50% di banyak industri strategis seperti komunikasi broadband, energi surya, manufaktur mobil, pencahayaan semikonduktor, dan jaringan pintar, serta dapat mengurangi volume peralatan hingga lebih dari 75%, yang merupakan tonggak penting bagi pengembangan ilmu pengetahuan dan teknologi manusia.

Energi Semicera dapat menyediakan kepada pelanggan substrat silikon karbida Konduktif (Konduktif), Semi-isolasi (Semi-isolasi), HPSI (semi-isolasi Kemurnian Tinggi); Selain itu, kami dapat menyediakan kepada pelanggan lembaran epitaksi silikon karbida homogen dan heterogen; Kami juga dapat menyesuaikan lembar epitaksi sesuai dengan kebutuhan spesifik pelanggan, dan tidak ada jumlah pesanan minimum.

SPESIFIKASI PRODUK DASAR

Ukuran

 6 inci
Diameter 150,0mm+0mm/-0,2mm
Orientasi Permukaan di luar sumbu:4°menuju<1120>±0,5°
Panjang Datar Primer 47.5mm1.5mm
Orientasi Datar Primer <1120>±1,0°
Flat Sekunder Tidak ada
Ketebalan 350,0um±25,0um
Politipe 4H
Tipe Konduktif tipe-n

SPESIFIKASI KUALITAS KRISTAL

6 inci
Barang Kelas P-MOS Kelas P-SBD
Resistivitas 0,015Ω·cm-0,025Ω·cm
Politipe Tidak ada yang diizinkan
Kepadatan Mikropipa ≤0,2/cm2 ≤0,5/cm2
EPD ≤4000/cm2 ≤8000/cm2
TED ≤3000/cm2 ≤6000/cm2
BPD ≤1000/cm2 ≤2000/cm2
TSD ≤300/cm2 ≤1000/cm2
SF (Diukur dengan UV-PL-355nm) ≤0,5% luasnya ≤1% luasnya
Pelat hex dengan cahaya intensitas tinggi Tidak ada yang diizinkan
Karbon VisualInklusi dengan cahaya intensitas tinggi Area kumulatif≤0,05%
微信截图_20240822105943

Resistivitas

Politipe

6 lnch substrat sic tipe-n (3)
6 lnch substrat sic tipe-n (4)

BPD&TSD

6 lnch substrat sic tipe-n (5)
wafer SiC

  • Sebelumnya:
  • Berikutnya: