Substrat SiC tipe N 6 inci

Deskripsi Singkat:

Semicera menawarkan berbagai macam wafer SiC 4H-8H. Selama bertahun-tahun, kami telah menjadi produsen dan pemasok produk untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik. Produk utama kami meliputi: Pelat etsa silikon karbida, trailer perahu silikon karbida, perahu wafer silikon karbida (PV & Semikonduktor), tabung tungku silikon karbida, dayung kantilever silikon karbida, chuck silikon karbida, balok silikon karbida, serta pelapis CVD SiC dan pelapis TaC. Mencakup sebagian besar pasar Eropa dan Amerika. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

 

Detail Produk

Label Produk

Bahan kristal tunggal silikon karbida (SiC) memiliki lebar celah pita yang besar (~Si 3 kali), konduktivitas termal yang tinggi (~Si 3,3 kali atau GaAs 10 kali), laju migrasi saturasi elektron yang tinggi (~Si 2,5 kali), kerusakan listrik yang tinggi bidang (~Si 10 kali atau GaAs 5 kali) dan karakteristik luar biasa lainnya.

Bahan semikonduktor generasi ketiga terutama mencakup SiC, GaN, intan, dll., karena lebar celah pita (Eg) lebih besar dari atau sama dengan 2,3 elektron volt (eV), disebut juga bahan semikonduktor celah pita lebar. Dibandingkan dengan bahan semikonduktor generasi pertama dan kedua, bahan semikonduktor generasi ketiga memiliki keunggulan konduktivitas termal yang tinggi, medan listrik kerusakan yang tinggi, laju migrasi elektron jenuh yang tinggi, dan energi ikatan yang tinggi, yang dapat memenuhi persyaratan baru teknologi elektronik modern untuk tingkat tinggi suhu, daya tinggi, tekanan tinggi, frekuensi tinggi dan ketahanan radiasi dan kondisi keras lainnya. Ini memiliki prospek penerapan yang penting di bidang pertahanan nasional, penerbangan, dirgantara, eksplorasi minyak, penyimpanan optik, dll., dan dapat mengurangi kehilangan energi hingga lebih dari 50% di banyak industri strategis seperti komunikasi broadband, energi surya, manufaktur mobil, pencahayaan semikonduktor, dan jaringan pintar, serta dapat mengurangi volume peralatan hingga lebih dari 75%, yang merupakan tonggak penting bagi pengembangan ilmu pengetahuan dan teknologi manusia.

Energi Semicera dapat menyediakan kepada pelanggan substrat silikon karbida Konduktif (Konduktif), Semi-isolasi (Semi-isolasi), HPSI (semi-isolasi Kemurnian Tinggi); Selain itu, kami dapat menyediakan kepada pelanggan lembaran epitaksi silikon karbida homogen dan heterogen; Kami juga dapat menyesuaikan lembar epitaksi sesuai dengan kebutuhan spesifik pelanggan, dan tidak ada jumlah pesanan minimum.

Barang

Produksi

Riset

Contoh

Parameter Kristal

Politipe

4H

Kesalahan orientasi permukaan

<11-20 >4±0,15°

Parameter Listrik

Dopan

Nitrogen tipe-n

Resistivitas

0,015-0,025ohm·cm

Parameter Mekanik

Diameter

150,0±0,2mm

Ketebalan

350±25 m

Orientasi datar primer

[1-100]±5°

Panjang datar primer

47,5±1,5mm

Flat sekunder

Tidak ada

TV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm * 5mm)

≤5 m(5mm*5mm)

≤10 μm(5mm*5mm)

Busur

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Melengkung

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Kekasaran depan (Si-wajah) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Struktur

Kepadatan pipa mikro

<1 buah/cm2

<10 buah/cm2

<15 buah/cm2

Kotoran logam

≤5E10atom/cm2

NA

BPD

≤1500 unit/cm2

≤3000 unit/cm2

NA

TSD

≤500 unit/cm2

≤1000 unit/cm2

NA

Kualitas Depan

Depan

Si

Permukaan akhir

CMP wajah-si

Partikel

≤60ea/wafer (ukuran≥0,3μm)

NA

Goresan

≤5ea/mm. Panjang kumulatif ≤Diameter

Panjang kumulatif≤2*Diameter

NA

Kulit jeruk/lubang/noda/goresan/retakan/kontaminasi

Tidak ada

NA

Keripik tepi/lekukan/patah/pelat segi enam

Tidak ada

Daerah politipe

Tidak ada

Area kumulatif≤20%

Area kumulatif≤30%

Penandaan laser depan

Tidak ada

Kualitas Kembali

Selesai kembali

CMP wajah C

Goresan

≤5ea/mm, Panjang kumulatif≤2*Diameter

NA

Cacat bagian belakang (pinggiran/lekukan tepi)

Tidak ada

Kekasaran punggung

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Penandaan laser belakang

1 mm (dari tepi atas)

Tepian

Tepian

Talang

Kemasan

Kemasan

Epi-ready dengan kemasan vakum

Kemasan kaset multi-wafer

*Catatan: "NA" berarti tidak ada permintaan. Item yang tidak disebutkan mungkin mengacu pada SEMI-STD.

tech_1_2_size
wafer SiC

Tempat Kerja Semicera Tempat kerja Semicera 2 Mesin peralatan Pemrosesan CNN, pembersihan kimia, pelapisan CVD Layanan kami


  • Sebelumnya:
  • Berikutnya: