Pemanas grafit berlapis SiC khusus untuk wafer semikonduktor

Deskripsi Singkat:

WeiTai Energi Technology Co, Ltd. adalah pemasok terkemuka keramik semikonduktor canggih dan satu-satunya produsen di China yang secara bersamaan dapat menyediakan keramik silikon karbida dengan kemurnian tinggi (terutamaDikristalisasi ulang SiC) dan lapisan CVD SiC.Selain itu, perusahaan kami juga berkomitmen pada bidang keramik seperti alumina, aluminium nitrida, zirkonia, dan silikon nitrida, dll.


Rincian produk

Label Produk

Fitur utama pemanas grafit:

1. keseragaman struktur pemanas.

2. daya hantar listrik yang baik dan beban listrik yang tinggi.

3. ketahanan terhadap korosi.

4. tidak dapat teroksidasi.

5. kemurnian kimia yang tinggi.

6. kekuatan mekanik yang tinggi.

Keunggulannya adalah hemat energi, bernilai tinggi, dan perawatan rendah.Kami dapat memproduksi wadah grafit anti-oksidasi dan umur panjang, cetakan grafit dan semua bagian pemanas grafit.

Pemanas grafit (4)

Parameter utama pemanas grafit

Spesifikasi teknis

Semicera-M3

Kepadatan Massal (g/cm3)

≥1,85

Kadar Abu (PPM)

≤500

Kekerasan Pantai

≥45

Resistensi Spesifik (μ.Ω.m)

≤12

Kekuatan Lentur (Mpa)

≥40

Kuat Tekan (Mpa)

≥70

Maks.Ukuran Butir (μm)

≤43

Koefisien Ekspansi Termal Mm/°C

≤4.4*10-6


  • Sebelumnya:
  • Berikutnya: